По данным информационного портала «Quote.ru», ОАО «Роснано» приобрело 14,28% акций ООО «ЭСТО-Вакуум» (г.Зеленоград). Ранее «Роснано» не владело акциями этого общества. Корпорация начинает финансирование проекта по расширению производства вакуумных установок для микро- и наноэлектроники на базе производственных мощностей ООО «ЭСТО-Вакуум».
Реализуемые с помощью установок «ЭСТО-Вакуум» смешанные технологические процессы способны создавать сложные многокомпонентные структуры, например лазеры и светодиоды из арсенида и нитрида галлия, фосфида индия. Также среди возможных применений оборудования - датчики влажности на основе нанотрубок, магнитные датчики на базе чередующихся нанометровых слоев магнитных и немагнитных материалов, тензодатчики, в которых толщина моносульфида самария составляет менее 100 нм, и др.
Общий бюджет проекта составит 1 млрд руб., из которых «Роснано» профинансирует 198,5 млн руб. Предполагается, что на плановую мощность производства, составляющую 60 установок в год, проектная компания выйдет к 2016 г.
«ЭСТО-Вакуум» (входит в группу «ЭСТО») занимается разработкой и производством автоматизированного вакуумного оборудования для магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления, плазмохимического травления, плазмостимулирующего осаждения.
ОАО «Роснано» создано в марте 2011 г. путем реорганизации государственной корпорации «Российская корпорация нанотехнологий». «Роснано» реализует государственную политику по развитию наноиндустрии, выступая соинвестором в нанотехнологических проектах со значительным экономическим или социальным потенциалом.
100% акций ОАО «Роснано» находится в собственности государства. Председателем правления общества назначен Анатолий Чубайс. Задачи государственной корпорации «Российская корпорация нанотехнологий» по созданию нанотехнологической инфраструктуры и реализации образовательных программ выполняются Фондом инфраструктурных и образовательных программ, также созданным в результате реорганизации госкорпорации.